| 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法 |
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| 引用本文： | 宋敏,郑亚茹,卢永军,曲艳玲.一种可实现薄膜厚度在线测量的方法[J].光学技术,2007,33(3):447-449. |
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| 作者姓名： | 宋敏 郑亚茹 卢永军 曲艳玲 |
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| 作者单位： | 1. 大连民族学院,光电子技术研究所,大连,116600
2. 辽宁师范大学,物理系,大连,116029 |
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| 基金项目： | 大连民族学院校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题,构造了一套软硬件实验系统,利用该系统进行实验的结果表明:在10~100μm厚度范围,测量误差小于10%,满足实际生产需要。
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| 关 键 词： | 光学方法 薄膜厚度 在线测量 |
| 文章编号： | 1002-1582(2007)03-0447-03 |
| 收稿时间： | 2006/1/23 |
| 修稿时间： | 2006年1月23日 |
An optical method of online measurement for the thickness of thin films |
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| SONG Min,ZHENG Ya-ru,LU Yong-jun,QU Yan-ling.An optical method of online measurement for the thickness of thin films[J].Optical Technique,2007,33(3):447-449. |
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| Authors: | SONG Min ZHENG Ya-ru LU Yong-jun QU Yan-ling |
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| Abstract: | An optical method was introduced for measuring the thickness of solid thin films. This method is of high measuring speed,noncontact and online work. An experimental system was constructed for on-line measurement of the thickness of thin film. The experimental results show that the measuring error is lower than 10% in the range of 10～100μm,which fit the production need. |
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| Keywords: | optical method thickness of thin film on-line measurement |
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