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等离子体源离子注入(Ⅱ)—技术扩展和初步研究结果
作者姓名:汤宝寅
作者单位:哈尔滨工业大学
摘    要:
等离子体源离子注入(Ⅱ)──技术扩展和初步研究结果汤宝寅(哈尔滨工业大学,哈尔滨150006)在psll前期研究工作上,我们主要集中在室温下气体离子注入,主要是氮离子注入。初步研究结果表明,PSII氮离子注入能够显著提高某些材料的表面硬度和抗磨损特性...

关 键 词:等离子体源 离子注入 钛合金
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