| 一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究 |
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| 作者姓名： | 燕斌 苑伟政 乔大勇 刘耀波 吴蒙 李昭 |
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| 作者单位： | 1.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;2.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;3.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;4.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;5.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072;6.西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50805123)和教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题。 |
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| 摘 要： | 在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜.介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试.利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测最.同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试.在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz.并分析误差产生的原因及其结果.
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| 关 键 词： | 光学器件 微光学器件 扫描镜 绝缘体上硅 谐振频率 迟滞频率响应 |
| 收稿时间： | 2011-12-01 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
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