| Nd:YAG晶体板条低透射波前误差加工技术 |
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| 引用本文： | 赵世杰, 谢瑞清, 廖德锋, 等. Nd:YAG晶体板条低透射波前误差加工技术[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 062010. doi: 10.11884/HPLPB201527.062010 |
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| 作者姓名： | 赵世杰 谢瑞清 廖德锋 陈贤华 王健 |
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| 作者单位： | 1.成都精密光学工程研究中心, 成都 61 0041 |
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| 摘 要： | 针对高平均功率固体激光器对Nd:YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd:YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究。详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案。实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd:YAG晶体板条的低透射波前误差加工。对于150 mm30 mm2.5 mm规格的Nd:YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74。
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| 关 键 词： | Nd:YAG晶体 板条 透射波前 光学加工 抛光 |
| 收稿时间： | 2014-12-16 |
| 修稿时间： | 2015-03-17 |
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