| 具有定向及自控制功能的真空镀膜系统 |
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| 引用本文： | 徐仁军,贺天民,王魁香.具有定向及自控制功能的真空镀膜系统[J].物理实验,2005,25(9):45-47. |
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| 作者姓名： | 徐仁军 贺天民 王魁香 |
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| 作者单位： | 吉林大学,物理学院,吉林,长春,130023 |
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| 摘 要： | 对现有真空镀膜系统进行了改进,在原系统中增加了定向装置和5个控制装置,可实现定向镀膜和有效地控制膜厚,进而显著提高膜层质量.
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| 关 键 词： | 真空镀膜 自动控制 膜厚 |
| 文章编号： | 1005-4642（2005）09-0045-03 |
| 收稿时间： | 2004-10-10 |
| 修稿时间： | 2005-03-03 |
Vacuum deposition system with directionalism and autocontrol functions |
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| XU Ren-jun,HE Tian-min,WANG Kui-xiang.Vacuum deposition system with directionalism and autocontrol functions[J].Physics Experimentation,2005,25(9):45-47. |
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| Authors: | XU Ren-jun HE Tian-min WANG Kui-xiang |
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| Abstract: | A common vacuum deposition system is improved that a directional device and five autocontrol devices are equipped,so that the directional deposition and the effective control of film thickness can be achieved.Thus the quality of deposition film is remarkably enhanced. |
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| Keywords: | vacuum deposition autocontrol film thickness |
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