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| 氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关 | |
| 作者姓名： | 庄婉如 杨培生 孙富荣 石志文 段继宁 邹正中 高俊华 |
| 作者单位： | 1.集成光电子学国家重点联合实验室, 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
| 摘 要： | 研制了一种全内反射型InGaAsP/InP光波导开关。采用氧离子注入形成的高阻特性来作为载流予注入区的隔离。由此获得陡峭的反射面,改善了光开关的性能。在入射光波长为1.3um,注入电流为32mAT得到光开关反射端消光比为18dB,无注入时的关态串话为-19dB. |
| 关 键 词： | 光开关 离子注入 光波导 集成光学 |
| 收稿时间： | 1994-10-18 |
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