金刚石膜压阻效应的理论研究 |
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作者姓名: | 孔春阳 王万录 廖克俊 马勇 王蜀霞 方亮 |
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作者单位: | (1)重庆大学理学院应用物理系 ,重庆 400044 ,中国;(2)重庆师范学院物理系 ,重庆 400047 ,中国 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(批准号: 69486001) |
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摘 要: | 在Fuchs-Sondheimer薄膜理论(F-S理论)和修正的价带分裂模型的基础上,考虑晶格散射、杂质散射和表面散射,通过求解弛豫近似下的Boltzmann方程,利用并联电阻模型从理论上研究了p-型异质外延金刚石膜的压阻效应,给出了压阻效应的计算表达式. 从理论上得到了和实验一致的压阻效应的主要特性. 提出了应力作用下分裂带间距变化的模型,对大应力时饱和压阻的理论和实验误差给出了合理解释.
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关 键 词: | 异质外延 压阻效应 价带分裂模型 金刚石薄膜 |
收稿时间: | 2001-02-06 |
修稿时间: | 2001-02-06 |
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