|
|||||
|
|
| 22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”项目通过验收 | |
| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所; |
| 摘 要： | <正>12月13日至14日,国家科技重大专项02专项实施管理办公室组织专家对"22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设"项目进行了现场验收。该项目由国家科技重大专项02专项集成电路先导工艺研发中心承担,成员包括中国科学院微电子研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、清华大学、北京大学、 |
| 关 键 词： | 科技重大专项 微电子研究所 工艺研发 现场验收 合作基地 中国科学院 日至 研究成果 中芯国际 专利申请 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |