| Sr-F共掺杂的SnO2基透明导电薄膜 |
| |
| 引用本文： | 吴绍航,张楠,郭晓阳,蒋大鹏,刘星元.Sr-F共掺杂的SnO2基透明导电薄膜[J].发光学报,2015(7). |
| |
| 作者姓名： | 吴绍航 张楠 郭晓阳 蒋大鹏 刘星元 |
| |
| 作者单位： | 1. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033; 中国科学院大学，北京 100049
2. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,130033 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，吉林省科技发展计划 |
| |
| 摘 要： | 利用离子源辅助的电子束热蒸发技术研制了高性能的Sr-F共掺杂SnO2( SFTO)基透明导电薄膜。所制备的SFTO薄膜具有良好的导电性和透过率,电阻率低于3.9×10-3Ω·cm,380~2500 nm波段的平均透过率大于85%,功函数约为5.10 eV。 SFTO透明导电薄膜为非晶态薄膜,具有较好的表面平整度( Rq <1.5 nm)。与工业上F掺杂SnO2薄膜的衬底温度(>450℃)相比,本文所用的衬底温度仅为300℃,有望直接将SnO2基透明导电非晶薄膜制备到柔性的塑料( PI、PAR或PCO)衬底上以获得性能良好的柔性电极。
|
| 关 键 词： | 透明导电薄膜 无铟 SnO2 半导体掺杂 |
Sr-F Codoped SnO2 Transparent Conductive Film |
| |
| WU Shao-hang,ZHANG Nan,GUO Xiao-yang,JIANG Da-peng,LIU Xing-yuan.Sr-F Codoped SnO2 Transparent Conductive Film[J].Chinese Journal of Luminescence,2015(7). |
| |
| Authors: | WU Shao-hang ZHANG Nan GUO Xiao-yang JIANG Da-peng LIU Xing-yuan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | transparent conductive film non-indium SnO2 semiconductor doping |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
