| 光学读出非制冷红外成像技术的光学灵敏度分析 |
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| 作者姓名： | 程腾 张青川 高杰 毛亮 伍小平 陈大鹏 |
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| 作者单位： | 1.中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥,230027;2.中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11072233,10872189,10732080,11102201）、中国博士后科学基金（20100480684）和中央高校基本科研业务费专项资金（WK2090050017）资助课题。 |
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| 摘 要： | 不同于传统的非制冷红外成像技术,提出了基于微电子机械系统(MEMS)的新概念光学读出非制冷红外成像技术.它的光学读出系统基于空间刀口滤波原理,具有高灵敏度、高分辨率和高抗震性等优点,但同时也受到了反光板的弯曲变形、粗糙度等复杂因素的影响.在大量实验数据的基础上,利用夫琅禾费近场衍射理论,建立了复杂因素下光学灵敏度的理论分析模型,详细分析了刀口滤波位置、反光板的长度、曲率半径、粗糙度、LED光源的强度以及扩展宽度等对光学灵敏度的影响,并提出了通过极限操作使系统的光学灵敏度最大化的光学优化方法.
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| 关 键 词： | 成像系统 光学读出 非制冷红外成像 焦平面阵列 无基底 |
| 收稿时间： | 2011-07-10 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
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