| 直流辉光等离子体辅助热丝CVD法沉积金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 赵庆勋,韩佳宁,文钦若,辛红丽,杨景发. 直流辉光等离子体辅助热丝CVD法沉积金刚石薄膜[J]. 光谱实验室, 2002, 19(1): 137-139 |
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| 作者姓名： | 赵庆勋 韩佳宁 文钦若 辛红丽 杨景发 |
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| 作者单位： | 河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市,071002;河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市,071002;河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市,071002;河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市,071002;河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市,071002 |
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| 基金项目： | 河北省自然科学基金资助项目 (5 990 91) |
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| 摘 要： | 采用直流辉光等离子体助进热丝化学气相沉积（CVD）的方法,低温（550－620℃）沉积得到晶态金刚石薄膜,经X射线衍射谱（XRD）,扫描电子显微镜（SEM）分析表明,稍高气压有利于金刚石薄膜的快速,致密生长。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 低温 金刚石 |
| 文章编号： | 1004-8138(2002)01-0137-03 |
| 修稿时间： | 2001-11-15 |
Study of Diamond Films Grown on Si(100) by Glow Plasma HFCVD |
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| ZHAO Qing Xun HAN Jia Ning WEN Qin Ruo XIN Hong Li YANG Jing Fa. Study of Diamond Films Grown on Si(100) by Glow Plasma HFCVD[J]. Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory, 2002, 19(1): 137-139 |
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| Authors: | ZHAO Qing Xun HAN Jia Ning WEN Qin Ruo XIN Hong Li YANG Jing Fa |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD Low Temperature Diamond. |
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