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| 基于条纹反射的光学表面疵病检测法 | |
| 引用本文： | 赵文川,钟显云,刘彬. 基于条纹反射的光学表面疵病检测法[J]. 光子学报, 2014, 43(9): 912007 |
| 作者姓名： | 赵文川 钟显云 刘彬 |
| 作者单位： | 赵文川:中国科学院光电技术研究所, 成都 610209 钟显云:中国科学院光电技术研究所, 成都 610209 刘彬:中国科学院光电技术研究所, 成都 610209 |
| 基金项目： | 中国科学院“西部之光”人才培养计划“西部博士资助项目”(No.A12K015)和国家自然科学基金(No.61205007)资助 |
| 摘 要： | 提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性. |
| 关 键 词： | 光学检测 表面检测 条纹反射 光学表面疵病 条纹处理 |
| 收稿时间： | 2013-12-16 |
The Surface Flaws Inspection of Optical Components Based on the Fringe Reflection |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Optical testing Surface testing Fringe reflection Optics surface flaws Fringe analysis |
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