| Miles集成衍射光栅的指向性硅微传声器 |
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| 引用本文： | 籍顺心.Miles集成衍射光栅的指向性硅微传声器[J].声学学报,2007,32(5):477-480. |
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| 作者姓名： | 籍顺心 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | Miles研究小组受Ormia ochrace寄生蝇声定位机理的启发,通过集成信号的衍射光栅读取技术,从原理上、方法上对现有硅微传声器进行了极大的拓展,赋予了硅微传声器极强的指向性,其指向性基本达到了理想的压差传声器的8字型,可有效抑制干扰和噪声,并克服了现有硅微传声器的如寄生电容、蚀刻粘连等诸多局限性。这一发展必将给硅微传声器带来更广泛的应角范围。
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| 修稿时间： | 2007年7月27日 |
Directional MEMS microphone integrated diffraction-based optical interferometric detection |
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| JI Shunxin.Directional MEMS microphone integrated diffraction-based optical interferometric detection[J].Acta Acustica,2007,32(5):477-480. |
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| Authors: | JI Shunxin |
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