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| 基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制 | |
| 作者姓名： | 顾宝龙 赵振平 陈浩远 潘威 张志强 |
| 摘 要： | 研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器.针对航空发动机高温恶劣环境,设计了传感器的膜层结构,采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层,以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积A12O3薄膜绝缘层和保护层,采用直流磁控溅1 100℃,塞贝克系数8.26μV/℃,最大温度误差小于1％,使用寿命大于2... |
| 关 键 词： | 薄膜热电偶 传感器 温度测量 标定 塞贝克系数 |
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