| CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究 |
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| 引用本文： | 潘永东,钱梦騄,侯立,刘尔凯.CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究[J].人工晶体学报,1998,27(2):132-136. |
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| 作者姓名： | 潘永东 钱梦騄 侯立 刘尔凯 |
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| 作者单位： | 同济大学声学研究所,上海200092;人工晶体研究所,北京100018 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目，， |
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| 摘 要： | 本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.
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| 关 键 词： | 金刚石膜 压电薄膜 激光超声 化学气相沉积 |
Laser Ultrasonic Study on Acoustic Character of CVD Diamond |
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| Pan Yongdong,Qian Menglu,Hou Li,Liu Erkai.Laser Ultrasonic Study on Acoustic Character of CVD Diamond[J].Journal of Synthetic Crystals,1998,27(2):132-136. |
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| Authors: | Pan Yongdong Qian Menglu Hou Li Liu Erkai |
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