用于单离子植入的聚焦离子束系统的关键技术期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

用于单离子植入的聚焦离子束系统的关键技术

引用本文：	蔚然.用于单离子植入的聚焦离子束系统的关键技术[J].等离子体应用技术快报,1999(12):2-4.

作者姓名：	蔚然

摘要：
关键词：	单离子值入聚焦离子束系统超大规模集成电路
本文献已被维普等数据库收录！