| 溶胶-凝胶法制备的ZrO_2薄膜的摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 陈云霞,刘维民. 溶胶-凝胶法制备的ZrO_2薄膜的摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报, 2001, 21(4) |
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| 作者姓名： | 陈云霞 刘维民 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室!甘肃兰州730000 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年基金资助 ( 5 982 5 116 ) |
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| 摘 要： | 在 Si(10 0 )基片上制备晶态 Zr O2 薄膜 ,考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制 .结果表明 :在低负荷 (0 .5 N )下 ,Zr O2 薄膜与 GCr15钢球和 Si3N4陶瓷球对摩时具有优良的抗磨减摩性能 ,在滑动 5 0 0 0次时的摩擦系数分别为0 .14和 0 .13;但随着负荷和滑动速度的增大 ,薄膜的耐磨寿命降低 ,摩擦系数增大 .采用扫描电子显微镜对薄膜磨痕表面形貌进行观察分析 ,发现在较低负荷和滑动速度条件下 ,Zr O2 薄膜的磨损机制为轻微擦伤 ;而在相对较高的负荷和滑动速度条件下 ,其磨痕表面呈现塑性变形 ,严重擦伤和断裂剥落特征
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 ZrO2薄膜 摩擦学性能 磨损机理 |
Tribological Properties of Sol-Gel ZrO_2 Thin Films |
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| CHEN Yun xi,LIU Wei min. Tribological Properties of Sol-Gel ZrO_2 Thin Films[J]. Tribology, 2001, 21(4) |
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| Authors: | CHEN Yun xi LIU Wei min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol gel method ZrO 2 thin film friction and wear behavior wear mechanism |
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