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| 基于矢量波像差理论的计算机辅助装调技术研究 | |
| 作者姓名： | 车驰骋 李英才 樊学武 马臻 胡永明 |
| 作者单位： | 1.中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710068 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710068 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710068 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068 |
| 摘 要： | 在三阶矢量波像差理论的基础上,建立了系统内失调量与系统波像差Zernike系数的关系式,并以共轴三反射光学系统为数学模型进行了仿真分析.结果表明,基于矢量波像差理论的装调技术可行,并可用于大型光学系统的装调.利用该理论对一共轴非球面三反系统进行装调,最终使系统波像差RMS<0.080λ. |
| 关 键 词： | 矢量波像差 计算机辅助装调 Zernike多项式 失调系数矩阵 |
| 收稿时间： | 2007-09-03 |
| 修稿时间： | 2007-10-09 |
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