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基于矢量波像差理论的计算机辅助装调技术研究
引用本文:车驰骋,李英才,樊学武,马臻,胡永明.基于矢量波像差理论的计算机辅助装调技术研究[J].光子学报,2008,37(8):1630-1634.
作者姓名:车驰骋  李英才  樊学武  马臻  胡永明
作者单位:1. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710119
摘    要:在三阶矢量波像差理论的基础上,建立了系统内失调量与系统波像差Zernike系数的关系式,并以共轴三反射光学系统为数学模型进行了仿真分析.结果表明,基于矢量波像差理论的装调技术可行,并可用于大型光学系统的装调.利用该理论对一共轴非球面三反系统进行装调,最终使系统波像差RMS<0.080λ.

关 键 词:矢量波像差  计算机辅助装调  Zernike多项式  失调系数矩阵
收稿时间:2007-09-03
修稿时间:2007-10-09

Research on Computer-aided Alignment Based on Vector Aberration Theory
CHE Chi-cheng,LI Ying-cai,FAN Xue-wu,MA Zhen,HU Yong-ming.Research on Computer-aided Alignment Based on Vector Aberration Theory[J].Acta Photonica Sinica,2008,37(8):1630-1634.
Authors:CHE Chi-cheng  LI Ying-cai  FAN Xue-wu  MA Zhen  HU Yong-ming
Abstract:In order to solve the problems in alignment of the wide field refractive camera,the relationship between system wavefront aberration and Zernike coefficient is investigated based on vector aberration theory.The model of misalignment optical system is build and the feasibility of this model using the CODE V software is analyzed.The results show this method can fit the requirement of complex optical system.Under the guidance of vector aberration theory,a TMA system′s wavefront error RMS<0.080λ.
Keywords:Vector aberration  Computer-aided alignment  Zernike polynomial  Matrix of misalignment
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