| 基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器 |
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| 引用本文： | 李帅,吴远大,尹小杰,安俊明,李建光,王红杰,胡雄伟. 基于绝缘硅的微环谐振可调谐滤波器[J]. 光子学报, 2011, 0(8): 1143-1148 |
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| 作者姓名： | 李帅 吴远大 尹小杰 安俊明 李建光 王红杰 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(No.2007AA03Z420); 国家重点基础研究发展计划(No.2007CB613404)资助 |
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| 摘 要： | 采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺,研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器.滤波器微环半径为5μm左右,波导截面尺寸为(350～500 nm)×220 nm不等.测试结果表明,波导宽度为450 nm时器件性能最为理想,其自由频谱宽度为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比为22.1 dB.通过对微...
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| 关 键 词： | 绝缘硅 微环谐振 热光效应 滤波器 串扰 |
Tunable Filters Based on SOI Microring-resonator |
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| LI Shuai,WU Yuan-da,YIN Xiao-jie,AN Jun-ming,LI Jian-guang,WANG Hong-jie,HU Xiong-wei. Tunable Filters Based on SOI Microring-resonator[J]. Acta Photonica Sinica, 2011, 0(8): 1143-1148 |
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| Authors: | LI Shuai WU Yuan-da YIN Xiao-jie AN Jun-ming LI Jian-guang WANG Hong-jie HU Xiong-wei |
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| Affiliation: | LI Shuai,WU Yuan-da,YIN Xiao-jie,AN Jun-ming,LI Jian-guang,WANG Hong-jie,HU Xiong-wei(Optoelectronics Research and Development Center,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Silicon On Insulator(SOI) Microring resonator Thermo-optic effect Filters Crosstalk |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
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