| 单粒子束精确定位照射装置在CR-39膜上刻蚀中国地图边界研究 |
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| 引用本文： | 张俊,王旭飞,胡智文,陈连运,王晓华,李军,陈斌,胡素华,许明亮,吴李君,余增亮. 单粒子束精确定位照射装置在CR-39膜上刻蚀中国地图边界研究[J]. 中国物理 C, 2005, 29(7): 713-716 |
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| 作者姓名： | 张俊 王旭飞 胡智文 陈连运 王晓华 李军 陈斌 胡素华 许明亮 吴李君 余增亮 |
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| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所离子束生物工程学重点实验室 合肥230031(张俊，王旭飞，胡智文，陈连运，王晓华，李军，吴瑜，陈斌，胡素华，许明亮，吴李君)，中国科学院等离子体物理研究所离子束生物工程学重点实验室 合肥230031(余增亮) |
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| 基金项目： | “十五”国家重点攻关项目(2001BA302B)，中国科学院重大设备研制项目(19875054)资助~~ |
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| 摘 要： | ![]()
采用自编写的图像处理程序把中国地图处理成为边界点阵图，并根据点阵图每点的坐标位置，利用中国第1台单粒子束精确定位照射装置提供的单质子束在CR-39膜上几百μm×几百μm的范围内辐照并刻蚀出中国地图边界. 研究表明，该单粒子束精确定位照射装置计数准确(98%)，定位精确(平均误差小于3 μm)，辐照路径算法选择合理(近邻法)，预测值和实测值吻合程度高，可以满足刻蚀CR-39膜微图像和生物细胞辐照实验的要求.
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| 关 键 词： | 单粒子 CR-39膜 近领法 中国地图 微细加工 |
| 收稿时间： | 2004-04-27 |
| 修稿时间： | 2004-06-07 |
Single Particles Irradiating Scattergrams of China Map Profile Etched on CR-39 Film |
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| ZHANG Jun. Single Particles Irradiating Scattergrams of China Map Profile Etched on CR-39 Film[J]. High Energy Physics and Nuclear Physics, 2005, 29(7): 713-716 |
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| Authors: | ZHANG Jun |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | single particle CR-39 near path method map of China micro-etch |
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