| MEMS微梁粘着动力分析 |
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| 引用本文： | 田文超, 贾建援, 陈光焱. 2007. MEMS微梁粘着动力分析. 应用力学学报, 24(2): 276-278. doi: 10.3969/j.issn.1000-4939.2007.02.023 |
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| 作者姓名： | 田文超 贾建援 陈光焱 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学,710071,西安;;; 2. 西南电子工程研究所,621000,绵阳 |
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| 摘 要： | 针对严重影响MEMS性能和可靠性的微梁粘着问题,根据W-S微观连续介质理论,建立了粘着力数学模型;针对粘着力对微梁刚度的强非线性影响,利用单元离散法,通过对粘着力时空变量相分离,对500μm×1μm×0.1μm表面镀金的微悬臂梁粘着进行了动力仿真,发现了"跳跃粘着"现象,从而为微梁的系统研究提供理论基础.
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| 关 键 词： | 粘着力 MEMS W-S微观连续介质理论 非线性 |
| 文章编号： | 1000-4939（2007）02-0276-03 |
| 收稿时间： | 2005-06-29 |
| 修稿时间： | 2005-10-08 |
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