| 氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜 |
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| 引用本文： | 汤庆鑫,路丽霞,齐秀英,钟殿强,初国强,刘益春. 氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜[J]. 发光学报, 2003, 24(3): 284-288 |
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| 作者姓名： | 汤庆鑫 路丽霞 齐秀英 钟殿强 初国强 刘益春 |
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| 作者单位： | 东北师范大学,物理系,吉林,长春,130024;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;东北师范大学,物理系,吉林,长春,130024;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 中国科学院百人计划资助项目 |
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| 摘 要： | 采用等离子辅助电子束蒸发技术制备高纯金属锌膜,然后在氧气气氛下经高温热处理得到氧化锌的多晶薄膜。X射线衍射谱的结果表明：未经热氧化样品由金属锌和氧化锌纳米晶组成,随着热氧化温度的升高氧化锌纳米晶粒长大,形成纳米氧化锌多晶薄膜且薄膜结晶性增强;光致发光谱表明：样品均具有较强的紫外自由激子发光。由于未经热氧化样品中氧化锌纳米晶粒较小,具有较强的量子限域效应,因而经高温氧化后样品发光峰有较大红移。随着热氧化温度的进一步升高,束缚激子发射随热氧化温度升高而减弱,且发光峰位随热氧化温度升高出现蓝移;变温光致发光谱表明：紫外发光主要来自自由激子发射。
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| 关 键 词： | 等离子辅助 电子束蒸发 光致发光 热氧化 |
| 文章编号： | 1000-7032(2003)03-0284-05 |
High Quality ZnO Thin Films Prepared by O2 and Ar Plasma-assisted E-beam Evaporation |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma-assisted E-beam evaporation photoluminescence (PL) thermal oxidation |
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