| 一种新型双吸收层光探测器的设计和分析 |
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| 引用本文： | 窦广栋,黄永清,段晓峰.一种新型双吸收层光探测器的设计和分析[J].半导体光电,2015,36(1):56-58,62. |
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| 作者姓名： | 窦广栋 黄永清 段晓峰 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学信息光子学与光通信研究院,北京100876;北京邮电大学信息光子学与光通信研究院,北京100876;北京邮电大学信息光子学与光通信研究院,北京100876 |
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| 基金项目： | 国际科技合作项目(2011DFR11010);国家自然科学基金项目(61274044);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20110005120018) |
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| 摘 要： | PIN光探测器是光纤通信系统和网络中的关键器件.量子效率和响应带宽是衡量光探测器性能的重要指标,并且这两个参数都与器件的吸收层密切相关.为了提高光探测器的性能,提出了一种新型双吸收层光探测器(即PINIP结构),利用侧腐蚀工艺减小双吸收层光探测器吸收层的结面积.对其性能进行了理论研究,结果表明该器件的量子效率达到了93％,同时响应带宽达到了26 GHz,比传统结构的双吸收层光探测器提高了44％.
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| 关 键 词： | 光探测器 双吸收层 量子效率 频率响应 |
| 收稿时间： | 2014/10/8 0:00:00 |
Design and Analysis of Mushroom Dual-absorption Layer Photodetector |
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| DOU Guangdong
,
HUANG Yongqing
,
DUAN Xiaofeng.Design and Analysis of Mushroom Dual-absorption Layer Photodetector[J].Semiconductor Optoelectronics,2015,36(1):56-58,62. |
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| Authors: | DOU Guangdong HUANG Yongqing DUAN Xiaofeng |
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| Institution: | DOU Guangdong;HUANG Yongqing;DUAN Xiaofeng;State Key Lab.of Information Photonics and Optical Communications,Beijing University of Posts and Telecommunications; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | photodetector dual-absorption layer quantum efficiency frequency response |
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