| 基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管 |
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| 引用本文： | 张楠,刘星元.基于Sb_2O_3/Ag/Sb_2O_3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管[J].发光学报,2014(12):1469-1473. |
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| 作者姓名： | 张楠 刘星元 |
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| 作者单位： | 1. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春摇 130033; 中国科学院大学，北京摇 100049
2. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春摇,130033 |
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| 基金项目： | 基金项目:国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 首次利用Sb2O3/Ag/Sb2O3(SAS)叠层透明导电薄膜作为透明电极,并采用衍射自组装沟道的方法研制了一种透明薄膜晶体管。通过一次掩模工艺,在电子束热蒸发过程中的SAS源漏电极之间制作沟道层。SAS透明导电薄膜具有优异的光电性能。研制的透明薄膜晶体管具有良好的器件性能,其迁移率高达11.36cm2/(V·s)。整个器件在可见光范围内的平均透过率为80%。结果表明,这种透明薄膜晶体管有希望应用于低成本透明光电子产品中。
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| 关 键 词： | 透明导电薄膜 SbO/Ag/SbO叠层 自组装沟道 透明薄膜晶体管 |
Self-assembled Channel Transparent Thin-film Transistors Based on Sb2 O3/Ag/Sb2 O3 Multilayer Transparent Conductive Films |
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| ZHANG Nan
,
LIU Xing-yuan.Self-assembled Channel Transparent Thin-film Transistors Based on Sb2 O3/Ag/Sb2 O3 Multilayer Transparent Conductive Films[J].Chinese Journal of Luminescence,2014(12):1469-1473. |
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| Authors: | ZHANG Nan LIU Xing-yuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transparent conductive film Sb2 O3/Ag/Sb2 O3 multilayer self-assembled channel transparent thin-film transistors |
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