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表面分析标准参考物质
引用本文:
罗兴华.表面分析标准参考物质[J].分析测试学报,1988(4).
作者姓名:
罗兴华
作者单位:
中国上海测试中心
摘 要:
表面分析是近十多年来迅速发展的新型分析技术。它被广泛应用于半导体、催化、冶金、腐蚀、钝化、涂膜、粘合、摩损以及晶体生长、渗杂、注入、外延等领域。据统计,表面分析技术已多达五十余种,其中最常用的是俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱
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