| 多晶硅中硼含量的密闭消解-ICP-AES法测定 |
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| 引用本文： | 田俊,陈红雨,李核.多晶硅中硼含量的密闭消解-ICP-AES法测定[J].分析测试学报,2010,29(9). |
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| 作者姓名： | 田俊 陈红雨 李核 |
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| 作者单位： | 华南师范大学,化学与环境学院,广东,广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 采用恒压密闭消解的方法分解多晶硅样品,电感耦合等离子体原子发射光谱测定多晶硅样品中的硼含量.探讨了酸及络合剂的类型与用量对硼含量测定的影响,优化后的实验条件为:消解体系为2 mL HF+2 mL H2O+0.6 mL HNO3, 络合剂为0.30 mL甘露醇溶液(2.5 g/L),稀释剂为0.3 mol/L的硝酸.在最佳实验条件下,硼元素的回收率为91% ～95%,相对标准偏差均小于5.0%.
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| 关 键 词： | 电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES) 多晶硅 硼 甘露醇 |
Determination of Boron in Polycrystalline Silicon by Closed Vessel Heating Digestion Coupled with Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry |
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| TIAN Jun,CHEN Hong-yu,LI He.Determination of Boron in Polycrystalline Silicon by Closed Vessel Heating Digestion Coupled with Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry[J].Journal of Instrumental Analysis,2010,29(9). |
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| Authors: | TIAN Jun CHEN Hong-yu LI He |
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