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| 碳氢氧体系低压金刚石非平衡定态系列相图 | |
| 引用本文： | 刘志杰,张卫.碳氢氧体系低压金刚石非平衡定态系列相图[J].化学通报,1999(2):59-62. |
| 作者姓名： | 刘志杰 张卫 |
| 作者单位： | 复旦大学电子工程系ＣＶＤ研究室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,“八六三”高科技基金 |
| 摘 要： | 在碳氢体系金刚石薄膜制备取得巨大成功的同时，人们开始寻找新的原料气体来制备金刚石以改善薄膜的质量和试图降低金刚石薄膜的淀积温度并提高淀积速率。首先被人们采用的是一些含氧的化合物和氢气的混合气体作原料制备金刚石，少量氧的存在不仅改善了金刚石薄膜的质量，... |
| 关 键 词： | 相图 碳氢氧体系 金刚石薄膜 低压 生长 非平衡 |
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