| 亚微米外部电光检测技术 |
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| 引用本文： | 陈占国,贾刚,衣茂斌,李海兰,吴志发,刘云龙,周志雄,赵超.亚微米外部电光检测技术[J].光学学报,2002,22(5):07-611. |
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| 作者姓名： | 陈占国 贾刚 衣茂斌 李海兰 吴志发 刘云龙 周志雄 赵超 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (6 96 76 0 2 5、6 9976 0 13)资助课题 |
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| 摘 要： | 将固浸透镜技术与电光检测技术相结合，建立了具有亚微米空间分辨率的外部电光检测系统，通过使用GaAs半球作外部电光探头，用数值孔径为0.3的显微物镜对波长为1.3μm的探测光束进行聚焦，得到了半峰全宽直径为0.7μm的聚焦光斑，成功测量了微带线上10kHz的正弦波信号，验证了系统的线性响应特性，并得到了6mV/√Hz的电压灵敏度。
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| 关 键 词： | 电光检测 亚微米 固浸透镜 空间分辨率 |
Sub-Micron External Electro-Optic Testing Technique |
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| Chen Zhanguo Jia Gang Yi Maobin Li Hailan Wu Zhifa,Liu Yunlong Zhou Zhixiong Zhao Chao.Sub-Micron External Electro-Optic Testing Technique[J].Acta Optica Sinica,2002,22(5):07-611. |
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| Authors: | Chen Zhanguo Jia Gang Yi Maobin Li Hailan Wu Zhifa Liu Yunlong Zhou Zhixiong Zhao Chao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electro-optic measurement sub-micron solid immersion lens spatial resolution |
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