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氟里昂(CF_2Cl_2)对电感耦合等离子体(ICP)放电特性的影响——ICP技术在危险废弃物处理方面的应用研究
引用本文:陈登云,王小如,陈薇,LeeFrankS.C..氟里昂(CF_2Cl_2)对电感耦合等离子体(ICP)放电特性的影响——ICP技术在危险废弃物处理方面的应用研究[J].光谱学与光谱分析,1998(3).
作者姓名:陈登云  王小如  陈薇  LeeFrankS.C.
作者单位:厦门大学化学系国家教委材料与生命过程分析科学开放研究实验室,香港浸会大学化学系
基金项目:国家自然科学基金优秀中青年人才专项基金
摘    要:为了发展用于处理难消解危险废物的电感耦合等离子体(ICP)技术,本文研究了当氟里昂12进入ICP时,在不同操作条件下ICP的激发温度与电子密度的变化趋势,并论述了其成因及其对废物处理的优势。

关 键 词:电感耦合等离子体,激发温度,电子密度,废物处理,氟里昂12
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