|
|||||
|
|
| 轴向二极场MWECR—CVD系统等离子体特性的实验研究 | |
| 引用本文： | 叶超,宁兆元.轴向二极场MWECR—CVD系统等离子体特性的实验研究[J].核聚变与等离子体物理,1995,15(4):43-48. |
| 作者姓名： | 叶超 宁兆元 |
| 摘 要： | 本文实验设计了永磁非对轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究。获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。 |
| 关 键 词： | 轴向二极场 ECD 等离子体 空间分布 CVD |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |