| ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究 |
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| 引用本文： | 严慧敏,郭颖,朱华新,刘桂林,朱冰洁,李帅,李果华.ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究[J].人工晶体学报,2013,42(6):1143-1147. |
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| 作者姓名： | 严慧敏 郭颖 朱华新 刘桂林 朱冰洁 李帅 李果华 |
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| 作者单位： | 江南大学理学院,无锡,214122;江南大学物联网工程学院,无锡,214122;江南大学理学院,无锡214122;江苏省(尚德)光伏技术研究院,无锡214028 |
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| 摘 要： | 聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.
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| 关 键 词： | 湿膜光刻 干膜光刻 OCT ITO电极 |
Comparison between Wet Film and Dry Film Photolithography Fabrication of ITO Electrode |
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| YAN Hui-min,GUO Ying,ZHU Hua-xin,LIU Gui-lin,ZHU Bing-jie,LI Shuai,LI Guo-hua.Comparison between Wet Film and Dry Film Photolithography Fabrication of ITO Electrode[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(6):1143-1147. |
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| Authors: | YAN Hui-min GUO Ying ZHU Hua-xin LIU Gui-lin ZHU Bing-jie LI Shuai LI Guo-hua |
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