| 硅片切割废砂浆中去除硅和二氧化硅工艺的研究 |
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| 引用本文： | 侯思懿,铁生年,汪长安.硅片切割废砂浆中去除硅和二氧化硅工艺的研究[J].人工晶体学报,2013,42(7):1435-1439. |
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| 作者姓名： | 侯思懿 铁生年 汪长安 |
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| 作者单位： | 青海大学非金属材料研究所,西宁,810016;青海大学非金属材料研究所,西宁810016;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 |
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| 基金项目： | 青海省西宁市科技重点新产品项目(2011-G-18) |
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| 摘 要： | 本文主要研究用碱洗法去除硅片切割废砂浆中硅和二氧化硅等杂质,以获得高纯度的碳化硅.研究了碱液的种类、碱液的浓度、碱液与总硅的配比、反应时间和反应温度各因素对除硅效果的影响,通过正交实验得出了最优的工艺条件.
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| 关 键 词： | 切割废砂浆 硅 二氧化硅 碱洗法 除杂 |
Research on Removing Silicon and Silicon Dioxide from the Cutting Waste Slurry of Silicon Wafer |
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| HOU Si-yi,TIE Sheng-nian,WANG Chang-an.Research on Removing Silicon and Silicon Dioxide from the Cutting Waste Slurry of Silicon Wafer[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(7):1435-1439. |
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| Authors: | HOU Si-yi TIE Sheng-nian WANG Chang-an |
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