| 基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究 |
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| 引用本文： | 袁征,戴一帆,解旭辉,周林,关朝亮,冯殊瑞.基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究[J].人工晶体学报,2013,42(4):582-586. |
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| 作者姓名： | 袁征 戴一帆 解旭辉 周林 关朝亮 冯殊瑞 |
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| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(91023042) |
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| 摘 要： | 磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面.本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉.利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化；结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工；利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉.
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| 关 键 词： | KDP晶体 磁流变抛光 离子束抛光 铁粉去除 |
Cleaning of Iron Powders Embedded into the Surface of KDP Crystal by Ion Beam Figuring |
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| YUAN Zheng,DAI Yi-fan,XIE Xu-hu,ZHOU Lin,GUAN Chao-liang,FENG Shu-rui.Cleaning of Iron Powders Embedded into the Surface of KDP Crystal by Ion Beam Figuring[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(4):582-586. |
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| Authors: | YUAN Zheng DAI Yi-fan XIE Xu-hu ZHOU Lin GUAN Chao-liang FENG Shu-rui |
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