| 基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制 |
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| 引用本文： | 许力,鲁二峰,周峰.基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制[J].人工晶体学报,2013,42(6):1175-1180. |
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| 作者姓名： | 许力 鲁二峰 周峰 |
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| 作者单位： | 浙江大学电气工程学院,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略.采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化,实现MOCVD反应室衬底温度的均匀控制.仿真结果验证了所提出方法的有效性.
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| 关 键 词： | MOCVD 温度均匀性控制 建模 仿生优化 |
Temperature Uniformity Control in MOCVD based on Modeling and Optimization |
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| XU Li,LU Er-feng,ZHOU Feng.Temperature Uniformity Control in MOCVD based on Modeling and Optimization[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(6):1175-1180. |
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| Authors: | XU Li LU Er-feng ZHOU Feng |
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