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晶硅切割废粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的工艺研究
引用本文:罗绍华,张溪溪,侯瑞,陈宇红,耿桂宏.晶硅切割废粉为原料的反应烧结Si3N4结合SiC复相陶瓷的工艺研究[J].人工晶体学报,2013,42(8):1668-1672.
作者姓名:罗绍华  张溪溪  侯瑞  陈宇红  耿桂宏
作者单位:东北大学秦皇岛分校资源与材料学院,秦皇岛,066004;北方民族大学材料科学与工程学院,银川,750021
基金项目:省部共建“粉体材料与特种陶瓷”重点实验室开放课题(1102);宁夏自然科学基金(NZ0843);国家自然科学基金(50902019);中央高校基本业务费(N100423002,N100123003)
摘    要:以晶硅切割废料Si粉和SiC为原料,Y2O3-Al2O3-Fe2O3为复合烧结助剂,反应烧结法制备低压铸造升液管用Si3N4/SiC复相陶瓷材料.设计L9(34)正交实验,研究了原料中Si、助剂Al2O3、Y2O3和Fe2O3的含量对陶瓷材料力学性能的影响和优化.采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对复合材料的相组成、断口形貌进行分析.结果表明,反应烧结后试样生成Si3N4结合SiC晶粒为主相的烧结体,并含有少量SiALON及未反应的Si.Si含量对力学性能的影响最为显著,通过对正交试验的验证,20wt; Si、3.2wt; Al2O3、0.8wt;Fe2O3和2wt; Y2O3时烧结体抗弯强度最高.

关 键 词:Si3N4  SiC  反应烧结  正交实验  力学性能  

Process Research on Reaction Sintered Silicon Nitride Bonding Silicon Carbide Multiphase Ceramics Using Crystalline Silicon Cutting Waste Silicon Powder as Raw Material
LUO Shao-hua,ZHANG Xi-xi,HOU Rui,CHEN Yu-hong,GENG Gui-hong.Process Research on Reaction Sintered Silicon Nitride Bonding Silicon Carbide Multiphase Ceramics Using Crystalline Silicon Cutting Waste Silicon Powder as Raw Material[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(8):1668-1672.
Authors:LUO Shao-hua  ZHANG Xi-xi  HOU Rui  CHEN Yu-hong  GENG Gui-hong
Abstract:
Keywords:
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