法卜里-珀洛干涉标准具石英隔圈平行差的测量

<正> 法卜里-珀洛标准具是一种精密的干涉测量装置。它的结构很简单。是由一个隔离器(隔圈)和两块镀有反射膜的平板组成。但对零件要求很高。其加工和检验都十分困难。图1是法卜里-珀洛干涉标准具石英隔圈(以下简称隔圈)的示意图。它的主要要求是隔圈两端的三对凸起小平台a-a',b-b',c-c'的厚度差小于0.03μm。这一微小长度用一般仪器是难以测量的。本文对隔圈平行差测量提出了一种方法,并进行了讨论。