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| 大口径光学元件干涉检测平台的建立 | |
| 引用本文： | 柴立群,许乔,谌桂萍,邓燕,石崎凯.大口径光学元件干涉检测平台的建立[J].工程物理研究院科技年报,2003(1):269-270. |
| 作者姓名： | 柴立群 许乔 谌桂萍 邓燕 石崎凯 |
| 摘 要： | “神光”Ⅲ装置对所使用的大口径光学元件提出了透(反)射波前的技术指标要求，这些指标均需使用大口径的干涉仪来进行检测。由于光学检测的不确定度较大，且不同的相移及分析算法最终也会影响测试的精度及可重复性。因此针对干涉检测算法进行研究。 |
| 关 键 词： | 光学元件 干涉检测 “神光”Ⅲ激光器 技术指标 |
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