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| 一种高灵敏度的桥型声表面波应变传感器 | |
| 作者姓名： | 李鹏旭 李红浪 程利娜 卢孜筱 罗为 刘久玲 |
| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,国家纳米科学中心,中国科学院声学研究所,国家纳米科学中心,华中科技大学,中国科学院声学研究所 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划（973计划） |
| 摘 要： | 为了提高声表面波传感器应变灵敏度,该文提出了一种桥型声表面波应变传感器.首先根据受压弯曲构件中应变分布特点设计了桥型声表面波应变传感器,并建立有限元模型,结合微扰法分析了桥型结构几何参数与声表面波应变传感器灵敏度的关系.根据分析结果确定桥型声表面波应变传感器几何结构参数,并与传统声表面波应变传感器的应变灵敏度进行了对比... |
| 关 键 词： | 声表面波 应变传感器 受压弯曲 桥型结构 应变灵敏度 |
| 收稿时间： | 2020-06-06 |
| 修稿时间： | 2021-03-02 |
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