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一种简单的显微物镜波面像差测定干涉仪
引用本文:向才新,韩昌元,贾林贤,王立升.一种简单的显微物镜波面像差测定干涉仪[J].光学学报,1987(9).
作者姓名:向才新  韩昌元  贾林贤  王立升
作者单位:中国科学院长春光学精密机械研究所 (向才新,韩昌元,贾林贤),中国科学院长春光学精密机械研究所(王立升)
摘    要:提出一种结构简单的显微物镜波面像差测定干涉仪。该仪器可以测定各种倍率物镜轴上、轴外多种波长的波面像差等光学性能参数。并分析了仪器的系统误差。

关 键 词:简单的显微物镜波差测定干涉仪

A simple interferometer for testing microscopic objective wave aberrations
XIANG CAIXIN,HAM CHANGYUAN JIA LINXIAN WANG LINSHENG.A simple interferometer for testing microscopic objective wave aberrations[J].Acta Optica Sinica,1987(9).
Authors:XIANG CAIXIN  HAM CHANGYUAN JIA LINXIAN WANG LINSHENG
Abstract:We have developed a simple interferometer to test the microscopic objective. It may be used to test the on- or off-axis various wavelength wave aberrations, chromatic aberration and other optical performances of various magnification microscopic objective. We have described and discused the system errors of this instruments
Keywords:simple interferometer for testing microscopic objective wave aberrations    
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