| Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件及其气敏性 |
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| 引用本文： | 米日古丽依明,帕提曼·尼扎木丁,米日古力·莫合买提,阿达来提·阿不都热合曼,阿布力孜·伊米提.Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件及其气敏性[J].中国稀土学报,2011,29(6). |
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| 作者姓名： | 米日古丽依明 帕提曼·尼扎木丁 米日古力·莫合买提 阿达来提·阿不都热合曼 阿布力孜·伊米提 |
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| 作者单位： | 新疆大学化学与化工学院,新疆乌鲁木齐,830046 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法将氧化钇(Y2O3)敏感膜固定在锡掺杂玻璃光波导表面,研制出了Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件,并对挥发性有机气体进行了检测.通过XRD测试对敏感薄膜的结构及晶粒尺寸进行了表征.实验结果表明,在室温下Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯、氯苯气体有较好的选择性响应,其响应浓度范围为l×10-3 ～1×10-5(V/V).Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、成本低、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等优点.
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| 关 键 词： | 光波导气敏元件 Y2 O3薄膜 二甲苯 气敏性 稀土 |
Yttrium Oxide Thin Film/Tin-Diffused Optical Waveguide Sensor and Gas-Sensing Properties |
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| Miriguli · Yiming,Patiman · Nizhamiding,Miriguli · Mohemaiti,Adalaiti · Abudureheman,Abliz ·Yimit.Yttrium Oxide Thin Film/Tin-Diffused Optical Waveguide Sensor and Gas-Sensing Properties[J].Journal of the Chinese Rare Earth Society,2011,29(6). |
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| Authors: | Miriguli · Yiming Patiman · Nizhamiding Miriguli · Mohemaiti Adalaiti · Abudureheman Abliz ·Yimit |
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| Institution: | Miriguli · Yiming,Patiman · Nizhamiding,Miriguli · Mohemaiti,Adalaiti · Abudureheman,Abliz · Yimit(College of Chemistry and Chemical Engineering,Xinjiang University,Urumqi 830046,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical waveguide gas sensor yttrium oxide thin film xylene gas sensing properties rare earths |
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