反射式椭圆高斯光束平顶整形系统 |
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作者姓名: | 孟祥翔 刘伟奇 柳华 魏忠伦 康玉思 冯睿 吕伟振 |
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作者单位: | 1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,130033;2.中国科学院大学, 北京 100049 |
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基金项目: | 国家“863”高技术研究发展计划(2009AA032701)资助项目 |
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摘 要: | 为了将椭圆高斯光束整形为圆形平顶光束,设计了一种无中心遮拦反射式两镜整形系统。根据能量守恒思想,选择匀化洛伦兹函数作为出射光束平顶分布函数,建立了入射面和出射面之间的坐标变换关系;采用光程守恒原理和矢量形式的反射定律,推导了积分形式的整形系统两反射镜面形方程。利用数值解法计算出两反射镜的面形数据,经过光学设计软件仿真与系统参数分析,得到的圆形平顶光束在目标区域的照度均匀性大于95%。结果表明,这种整形系统可以明显提高椭圆高斯光束的平顶性,具有现实可行性。
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关 键 词: | 激光光束整形 椭圆高斯光束 平顶光束 反射系统 |
收稿时间: | 2013-04-23 |
修稿时间: | 2013-05-12 |
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