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图像复原处理方法在显微测量LiNbO3表面缺陷中的应用
引用本文:高媛媛,陶智,顾济华,杨勇,杜华月. 图像复原处理方法在显微测量LiNbO3表面缺陷中的应用[J]. 光学技术, 2008, 34(4)
作者姓名:高媛媛  陶智  顾济华  杨勇  杜华月
作者单位:教育部现代光学技术重点实验室,江苏,苏州,215006;苏州大学物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;教育部现代光学技术重点实验室,江苏,苏州,215006;苏州大学物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;中国人民解放军理工大学,南京,210007
摘    要:
研究了图像复原处理在显微测量中的应用。在实测系统点扩展函数的基础上,首先利用图像复原方法对显微图像进行复原处理,然后用二维处理方法实现对缝宽的精确显微测量。实现了在普通光学显微镜下铌酸锂(LiN- bO_3)极化畴结构样品缺陷大小的便捷测量。

关 键 词:点扩展函数  图像复原  图像分割  显微测量

Method of image reconstruction microscopically measure the surface flaw of LiNbO3
GAO Yuan-yuan,TAO Zhi,GU Ji-hua,YANG Yong,DU Hua-yue. Method of image reconstruction microscopically measure the surface flaw of LiNbO3[J]. Optical Technique, 2008, 34(4)
Authors:GAO Yuan-yuan  TAO Zhi  GU Ji-hua  YANG Yong  DU Hua-yue
Abstract:
Application of image reconstruction in microscopic measurement is studied.On the basis of measuring the point spread function of the system,images are processed by the method of image reconstruction in order to make images clearer,then through image segmentation and image processing precise microscopic measuring of the slit width is realized with the two dimen- sional processing method.The technique is used to conveniently measure the size of the surface flaw of the specimen of niobic acid lithium(LiNbO_3)domain-structure polarized under the ordinary optic microscope.
Keywords:point spread function  image reconstruction  image segmentation  microscopic measurement
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