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| SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合铁电薄膜的制备与特性研究 | |
| 作者姓名： | 王华 任明放 |
| 作者单位： | 桂林电子科技大学信息材料科学与工程系, 桂林 541004;桂林电子科技大学信息材料科学与工程系, 桂林 541004 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 50262001)资助的课题. |
| 摘 要： | 采用溶胶凝胶工艺在p-Si衬底上制备了SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合铁电薄膜. 研究了SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合薄膜的微观结构与生长行为、铁电性能和疲劳特性. 研究表明: Si衬底Bi4Ti<
关键词：
2Ta2O9')" href="#">SrBi2Ta2O9
4Ti3O12')" href="#">Bi4Ti3O12
复合铁电薄膜
溶胶凝胶工艺 |
| 关 键 词： | SrBi2Ta2O9 Bi4Ti3O12 复合铁电薄膜 溶胶凝胶工艺 |
| 文章编号： | 1000-3290/2007/56(12)/7315-05 |
| 收稿时间： | 2007-01-04 |
| 修稿时间： | 2007-01-04 |