| 微机械可调谐滤波器的研制 |
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| 引用本文： | 张瑞康,杨晓红,周震,徐应强,张玮,杜云,黄永清,任晓敏,牛智川,吴荣汉.微机械可调谐滤波器的研制[J].半导体学报,2003,24(4). |
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| 作者姓名： | 张瑞康 杨晓红 周震 徐应强 张玮 杜云 黄永清 任晓敏 牛智川 吴荣汉 |
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| 作者单位： | 1. 北京邮电大学,北京,100876
2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器.该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm.
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| 关 键 词： | 微机械可调谐滤波器 波分复用 分布反馈Bragg反射镜 |
Micromechanical Tunable Optical Filter |
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| Zhang Ruikang,Yang Xiaohong,Zhou Zhen,Xu Yingqiang,Zhang Wei,Du Yun,Huang Yongqing,REN Xiaomin,Niu Zhichuan,Wu Ronghan.Micromechanical Tunable Optical Filter[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(4). |
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| Authors: | Zhang Ruikang Yang Xiaohong Zhou Zhen Xu Yingqiang Zhang Wei Du Yun Huang Yongqing REN Xiaomin Niu Zhichuan Wu Ronghan |
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| Abstract: | A micromachined vertical cavity tunable filter with AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector is presented.This filter can be electrostatic tuning over a range of 28nm with an applied voltage of 7V. |
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| Keywords: | micromachined tunable filter wavelength division multiplexing distributed Bragg reflecto |
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