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| 聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备 | |
| 引用本文： | 刘桂林,朱华新,郭颖,严慧敏,李果华. 聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1549-1553,1560 |
| 作者姓名： | 刘桂林 朱华新 郭颖 严慧敏 李果华 |
| 作者单位： | 1. 江南大学理学院,无锡,214122 2. 江南大学理学院,无锡214122;江苏省(尚德)光伏技术研究院,无锡214028 |
| 摘 要： | 使用光刻的方法进行ITO电极的制作,可制得精细的电极结构,本文重点阐述了使用光刻制备ITO电极的方法,包括表面清洗、曝光参量、显影条件、腐蚀工艺等,其中较为理想的ITO光刻工艺为:50 s曝光时间、30 s显影时间、20 s化学腐蚀时间。并用对腐蚀工艺条件进行了理论分析,并使用光学相干断层扫描(OCT)技术对制备的电极进行了测量。 |
| 关 键 词： | ITO电极 光刻 化学腐蚀 光学相干断层扫描 |
Fabrication of ITO Electrode with Lithography for Polymer Solar Cells |
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| LIU Gui-lin , ZHU Hua-xin , GUO Ying , YAN Hui-min , LI Guo-hua. Fabrication of ITO Electrode with Lithography for Polymer Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(6): 1549-1553,1560 | |
| Authors: | LIU Gui-lin ZHU Hua-xin GUO Ying YAN Hui-min LI Guo-hua |
| Affiliation: | 1,2(1.School of Science,Jiangnan University,Wuxi 214122,China;2.Jiangsu(Suntech) Institute for Photovoltaic Technology,Wuxi 214028,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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