| 电化学沉积DLC薄膜的摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 阎兴斌 徐洮 杨生荣 薛群基 王永谦. 电化学沉积DLC薄膜的摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报, 2003, 23(3): 169-173 |
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| 作者姓名： | 阎兴斌 徐洮 杨生荣 薛群基 王永谦 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50172052,50175105),中国科学院"百人计划"资助项目. |
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| 摘 要： | 采用直流电源,以有机溶剂作为碳源,通过电化学沉积方法在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜．用原子力显微镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外光谱仪等表征了薄膜的结构,用DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪考察了薄膜的摩擦学性能．结果表明：电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高(约14GPa),薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;在室温干摩擦条件下,薄膜同GCrl5钢以及α-Al2O和Si3N4陶瓷对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小;陶瓷材料／类金刚石碳膜的摩擦系数较低,钢／类金刚石碳膜的摩擦系数较高;类金刚石碳薄膜同Si3N4陶瓷对摩时呈现断裂剥落特征;同GCrl5钢对摩时发生转移并形成转移膜,耐磨寿命缩短．
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| 关 键 词： | 电化学沉积 类金刚石碳膜 摩擦学性能 DLC薄膜 |
| 文章编号： | 1004-0595(2003)03-0169-05 |
| 修稿时间： | 2002-10-12 |
Tribological Properties of Diamond-Like Carbon Films by Electrochemical Deposition |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrochemical deposition DLC film tribological properties |
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