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薄膜物理及其应用讲座:第三讲 非晶半导体薄膜最新进展
作者姓名:
陈光华
摘 要:
介绍了非晶半导体薄膜的结构特点和在光电器件上的独特性能,给出了薄膜器件的发展水平和制膜技术、制膜设备的研究现状。
关 键 词:
薄膜物理 非晶半导体薄膜 太阳能电池 信息显示
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