| 白光扫描干涉测量算法综述 |
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| 引用本文： | 杨天博,郭宏,李达成.白光扫描干涉测量算法综述[J].光学技术,2006,32(1):115-117. |
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| 作者姓名： | 杨天博 郭宏 李达成 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构、光源的光谱宽度以及扫描步长一定的情况下,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法以及空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法选取提供了一份详尽的参考。
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| 关 键 词： | 白光干涉 重心法 移相法 包络曲线拟合法 空间频域法 |
| 文章编号： | 1002-1582(2006)01-0115-03 |
| 收稿时间： | 2005/1/21 |
| 修稿时间： | 2005年1月21日 |
The summary of algorithms for white-light scanning interferometry |
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| YANG Tian-bo,GUO Hong,LI Da-cheng.The summary of algorithms for white-light scanning interferometry[J].Optical Technique,2006,32(1):115-117. |
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| Authors: | YANG Tian-bo GUO Hong LI Da-cheng |
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| Abstract: | White light interference is an extremely powerful method of optical measurements.When the structure of the interferometer,the spectrum width of the light source,and the scanning step is certain,the right algorithm can achieve higher precision.The algorithms such as centroid algorithm,phase shift algorithm,envelope fitting algorithm and spatial frequency domain algorithm were discussed and compared.A complete reference was supplied for choosing of white light interferometry algorithm. |
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| Keywords: | white-light interferometry centroid algorithm phase shift algorithm envelope fitting algorithm |
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