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| 椭偏仪测薄膜厚度实验存在的问题 | |
| 作者姓名： | 孙兆奇 |
| 作者单位： | 安徽大学物理系 |
| 摘 要： | 薄膜科学与技术是当前高科技中的一个领域,在目前各高等院校开设的近代物理实验课程中均有用反射型椭偏仪测量薄膜厚度及折射率的内容。然而,本实验内容的安排却存在一个问题,只能确定膜厚在第一周期以内的值而不能由实验数据本身确定膜厚的周 |
| 关 键 词： | 椭偏仪 薄膜 厚度 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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